序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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美日丰创光掩膜板生产扩建项目

厦门市翔安区内垵中路268号

厦门美日丰创光罩有限公司

厦门华和元环保科技有限公司

公司根据生产需求，拟在现有主车间1内的2楼生产车间空置区域内（约1000m²）新增设备对现有工程进行改扩建，改扩建项目仍主要从事光掩膜板生产加工，项目建成后预计年新增光掩膜板6300片，并调整传统型光掩膜板和相位移型光掩膜板生产比例，即将“传统型光掩膜板比例约占40%，相位移型光掩膜板比例约占60%”调整为“传统型光掩膜板比例约占80%，相位移型光掩膜板比例约占20%”，改扩建后全厂生产规模为年生产光掩膜板12600片。

（1）废气

改扩建工程废气产生情况与现有工程一致，主要为干式蚀刻、光阻剥离、光阻剥离后清洗、缺陷修补、修补检查后清洗等工序产生的酸碱废气和光阻涂布、擦拭及清洁工序产生的有机废气，其中酸碱废气主要污染因子为氯气、氟化物、铬及其化合物、SO₂、硫酸雾、氨，改扩建部分酸碱废气经各自收集设施收集后并入现有工程2套喷淋塔处理；光阻涂布、擦拭及清洁工序产生的有机废气，以非甲烷总烃计，改扩建部分有机废气经收集设施收集后并入现有工程2套活性炭吸附装置处理。

（2）废水

改扩建项目用水环节与现有工程一致，废水主要包括生产废水和生活污水。改扩建后全厂生产废水主要包括树脂再生酸碱废水、显影清洗废水、湿式蚀刻清洗废水、光阻剥离废水、光阻剥离后清洗废水、修补检查后清洗废水、盒子清洗及洗手废水、喷淋塔废水、浓水、循环冷却废水等。改扩建项目将湿式蚀刻工序产生的废蚀刻液和第一道清洗废水进行全部收集，作为危险废物委外处置，后道清洗废水则仍进入生产废水处理系统；其他生产废水依托现有工程采用“pH中和调节”的工艺进行处理后排入市政污水管网，生活污水依托厂区现有化粪池处理后排入市政污水管网。

（3）噪声

改扩建项目噪声主要来自新增设备光刻机、光掩膜板洗净机、光阻去除机等，不新增室外主要噪声源和动力设备。室内新增设备拟采取设置减震垫、单独隔间、车间密闭等措施进行降噪。

（4）固体废物

改扩建后全厂运营期固废主要为一般工业固废、危险废物及生活垃圾，其中一般工业固废主要为纯水制备废活性炭、废塑料包装膜、废包装材料，集中收集后委托有主体资格和技术能力的单位利用、处置；危险废物主要为含铬蚀刻废液及清洗废水、废光刻胶、废润滑油、废酸、废碱、废有机溶剂、含有机废气废活性炭、废离子交换树脂、危险化学品废包装材料、废显影液、污水处理污泥等，分类收集后暂存于危废暂存间，定期交由有资质的单位处置；生活垃圾集中收集后由环卫部门统一清运。

（5）地下水和土壤环境污染防治措施

项目采取的地下水和土壤防护措施主要有源头控制、分区防渗。

（6）环境风险防范措施

①建立环保制度，设置环保设施专职管理人员，保证设施正常运行或处于良好的待命状态。②总平面布置按功能分区布置，各功能区之间设有通道，有利于安全疏散和消防，各建构筑物按火灾危险等级要求进行设计。原料仓库、生产车间远离办公区。危废暂存间、化学品仓库、室外化学品暂存柜、废水处理站等地面根据需要做防渗处理。③加强对员工的安全生产培训，生产过程中原辅材料的量取、加料等严格按要求操作，防止原料泄漏。化学品仓库、室外化学品暂存柜及危废暂存间应远离火种、热源，工作场所禁止吸烟等。④制定科学安全的废气/废水处理设施操作规程，包括定期检查工作，运行过程中的操作规范，运行中的巡查工作。⑤对于项目废气处理装置中的活性炭过滤材料应及时进行更换，喷淋塔中的碱液应及时添加，防止因活性炭过滤材料吸附饱和后失效或碱液添加不够导致废气未经处理直接排入大气环境。