序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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全磊光电化合物半导体外延片/芯片研发及产业化项目

厦门市翔安区13-04下潭尾北片区万家春路与翔安北路交叉口东北侧地块

全磊光电股份有限公司

厦门尚岛环保科技有限公司

本项目产能为年产化合物半导体外延片/芯片产品（含芯片折算成片）40 万片。建设1#厂房（外延和芯片生产车间及辅助设备间）、2#综合楼、5#甲类仓库、6#氢气站、7#污水站、8#门卫房及氮气站等生产及配套设施（本环评属于一期环评、3#厂房、4#厂房本期不建设）。项目7.33亿元，其中环保投资2117.82万元。

一、施工期：

1、环境影响：

（1）施工噪声：车间装修、机械设备安装和电气、动力设备安装，原材料、设备运输等噪声对周边敏感目标的影响。

（2）施工废气：装修粉尘、涂料废气对周边敏感目标影响。

（3）施工生活污水：施工人员生活污水对海域水质环境的影响。

（4）固体废物：施工人员生活垃圾、建筑垃圾、涂料油漆空桶对周边环境的影响。2、保护措施：

（1）施工噪声：施工时关窗、避开午间和夜间休息期作业。

（2）施工废气：禁止散装类建筑材料无包装进场；装修产生的建筑垃圾及时清理； 存放时加盖防尘网，适时洒水抑尘；采用环保涂料、适时开窗通风等。

（3）施工生活污水：自建三级化粪池预处理后排入市政污水管网后，纳入翔安水质净化厂进行深度处理。

（4）固体废物：施工人员生活垃圾收集桶收集，并统一由环卫部门清运处置；建筑垃圾集中堆放，送往指定的处理处置场进行处理处置，若露天堆放采用严密苫盖，运输和卸运时防止遗撒飞扬。使用后的涂料油漆空桶等及时加盖密闭，集中存放，委托有处理资质单位进行处理处置。

二、运营期：

1、环境影响：

（1）水环境：项目废水主要包括高浓含砷废水（砷烷磷烷洗涤塔废水、外延部件清洗废水、研磨切割废水）、低浓含砷废水（酸洗清洗废水、BOE腐蚀清洗废水）、有机清洗废水、其他废气洗涤塔废水、制纯水废水、冷却塔排水和职工生活污水。以上废水对水环境的影响。

（2）大气环境：项目砷烷、磷烷、酸性废气、有机废气、工艺废气等对大气环境的影响。

（3）声环境：项目投入正常运营过程产生的设备噪声对环境的影响。

（4）固体废物：项目生产产生的生活垃圾、一般固废、危险废物对环境的影响。

地下水、土壤：项目大气沉降、垂直入渗对地下水和土壤的影响。

（5）环境风险：主要考虑砷烷、磷烷等化学品泄漏时对环境的影响。

2、保护措施：

（1）水污染防治措施：本项目在厂区建设一套处理量1000m³/d的废水处理系统，其中含砷废水处理系统处理量为730m³/d。含砷废水经含砷废水处理系统处理后可满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）车间或生产设施排放口间接排放限值后排入综合废水处理系统处理，其他生产废水（也包括制纯水废水、冷却塔排水）直接排入综合废水处理系统处理后达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）间接排放限值后通过生产废水总排口排入市政污水管网。含砷废水处理系统处理工艺为化学混凝沉淀+过滤，可通过该工艺去除总砷、总磷、氟化物至达标排放。 综合废水处理系统仅中和PH值，其他废水污染物含量较低，无需处理即可达标排放。

（2）大气污染防治措施：项目砷烷、磷烷由MOCVD设备密闭收集管排出，引至4套废气处理设施“二级串联化学喷淋塔+除湿+活性炭”处理。于楼顶排气筒通过2根30米的排气筒高空排放。酸性废气均在清洗台（通风橱）内产生并收集经2套碱液喷淋塔处理，于楼顶排气筒通过2根30米的排气筒高空排放。有机废气均在清洗台（通风橱）内产生并收集经活性炭吸附装置处理，于楼顶1根30米排气筒高空排放。工艺设备废气包括工艺设备密闭收集尾气通过管道先经设备后分别设置的车间碱液水淋塔洗涤后，除雾除湿后，再排至屋顶活性炭吸附处理 。废水站的废气主要有HCL、硝酸雾（以NOX计）等组成。废水处理站各酸雾产生源（外延清洗水罐、高砷水罐、高砷反应釜），密闭加盖收集酸性气体，收集后废气经集气管道引至“碱液喷淋塔”处理，经两级喷淋处理后的废气引至废水站屋顶排放，高度约16m。危险废物贮存间密闭室内抽风收集有机废气引至屋顶通过16m排气筒高空排放。污泥间和污泥压滤间密闭，用顶端风机抽风。

（3）噪声污染防治措施:项目尽量选用高效能、低能耗、低噪声，符合国家要求的设备，按设备特点进一步采取减振、隔声、消声措施，同时加强对高噪声设备的日常维护保养，定期检修，保证高噪声设备正常运行。

固废污染防治措施：一般工业固体废物由具有主体资格和技术能力的物资部门回收利用，危险废物委托有资质单位处理，生活垃圾由环卫部门外运清理。

（4）地下水、土壤防治措施:按照相关指南和规范对重点污染防治区、一般污染防治区进行防渗设计。加强日常监管和维护。

（5）环境风险措施：项目应建立环境风险管理制度，严格按照环境风险防控章节提出的措施要求开展环境风险防控工作，并及时编制《突发环境事件应急预案》，按其要求进行演练。在采取本评价提出的各项风险防范措施后，环境风险可防控。

三、公众参与：按照要求开展了公众参与。